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光刻机投影物镜安装方式研究

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不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响.对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨论.
Installation Methods of Lithography Projection Lens

齐克奇

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033

投影物镜 安装方式 隔振方式 投影光刻系统

2011

10.3788/OMEI20112808.0022

光机电信息
中国光学学会

光机电信息

影响因子：0.254
ISSN：1007-1180
年,卷(期)：2011.28(8)
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