精密气动定位系统的发展及应用

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中文摘要：精密气动定位系统具有高精度、高速、大行程、传动平稳、使用费用低等优点,目前广泛地应用于光刻、数控机床等诸多精密工程领域.本文按照时间顺序介绍了精密气动定位系统的发展情况,总结了精密气动定位系统的应用特点,并指出当前精密气动定位系统一些有待改进的关键技术.

外文标题：Progress and Applications of High-performance Pneumatic Positioning System

作者：

袁文全、巩岩

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作者单位：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033

关键词：

气动精密定位非线性气驱动器

基金：

国家02专项基金

项目编号：

2009ZX02005

出版年：

2011

DOI：

光机电信息

中国光学学会

影响因子：0.254

ISSN：1007-1180

年,卷(期)：2011.28(8)