光谱共焦位移传感器测量透明材料厚度的应用

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中文摘要：介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理,及其在测量厚度方面的应用,重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性,对其产生的误差进行了详细的分析,并给出了相应的补偿方法.

外文标题：Application of Confocal Chromatic Displacement Sensors to Measuring Thickness of Transparent Material

作者：

朱万彬、曹世豪

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作者单位：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033

长春理工大学,吉林长春130022

关键词：

光谱共焦位移传感器色散系数

出版年：

2011

DOI：

光机电信息

中国光学学会

影响因子：0.254

ISSN：1007-1180

年,卷(期)：2011.28(9)