滤光片对三角位移传感器测量误差的影响

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中文摘要：为了提高激光位移传感器接收系统的信噪比,往往在CCD或PSD接收器前加滤光片.但是,滤光片对接收光线的折射作用将引起测量误差,而且该误差是非线性的,对于高精度位移传感器来说,这个误差是不可忽略的.设计了一种补偿方法,实验表明该方法可行.

外文标题：Influnce of Filter on Measure Error of Displacement Sensor

作者：

朱万彬

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作者单位：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033

关键词：

平行平板非线性补偿

出版年：

2011

DOI：

光机电信息

中国光学学会

影响因子：0.254

ISSN：1007-1180

年,卷(期)：2011.28(11)