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Amorphous oxide semiconductor for monolithic 3D DRAM:an enabler or passer-by?

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Shujuan Mao、Guilei Wang、Chao Zhao

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Beijing Superstring Academy of Memory Technology,China

国家重点研发计划国家自然科学基金北京市自然科学基金

2022YFB3606900620042164222082

2024

国家科学评论(英文版)

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CSTPCD
ISSN:
年,卷(期):2024.11(3)
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