区熔法拉制硅芯的生产工艺及质量控制

扫码查看

原文链接

万方数据
维普

中文摘要：目前，多晶硅的主要生产工艺为改良西门子法，该工艺中硅芯作为硅沉积的载体，其品质对棒状硅的质量有着较大的影响。本文详细阐述了区熔法拉制的硅芯从拉制阶段直至装炉的全部工序，将其分为拉制阶段、机械加工阶段、清洗干燥阶段以及包装阶段四个阶段，并分阶段详细分析了各工序中影响硅芯质量的因素进行了探讨。

作者：

刘虎、魏强、杜斌功

展开 >

作者单位：

青海黄河水电公司新能源分公司,青海西宁 810000

青海省新能源材料与储能技术重点实验室,青海西宁 810000

关键词：

圆硅芯区熔硅芯质量工艺

出版年：

2024

产业创新研究

开益国际咨询研究中心（天津）

产业创新研究

CHSSCD

影响因子：0.193

ISSN：2096-4714

年,卷(期)：2024.(14)