产业创新研究2024，Issue(14) ：87-89.

区熔法拉制硅芯的生产工艺及质量控制

刘虎 魏强 杜斌功
产业创新研究2024，Issue(14) ：87-89.
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区熔法拉制硅芯的生产工艺及质量控制

刘虎 1魏强 2杜斌功1
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作者信息

  • 1. 青海黄河水电公司新能源分公司,青海西宁 810000;青海省新能源材料与储能技术重点实验室,青海西宁 810000
  • 2. 青海黄河水电公司新能源分公司,青海西宁 810000
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摘要

目前,多晶硅的主要生产工艺为改良西门子法,该工艺中硅芯作为硅沉积的载体,其品质对棒状硅的质量有着较大的影响.本文详细阐述了区熔法拉制的硅芯从拉制阶段直至装炉的全部工序,将其分为拉制阶段、机械加工阶段、清洗干燥阶段以及包装阶段四个阶段,并分阶段详细分析了各工序中影响硅芯质量的因素进行了探讨.

关键词

圆硅芯/区熔/硅芯质量/工艺

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出版年

2024
产业创新研究
开益国际咨询研究中心（天津）

产业创新研究

CHSSCD
影响因子：0.193
ISSN：2096-4714
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