产业创新研究2024，Issue(14) ：96-98.

电子级多晶硅制备过程中的质量影响因素研究

董丰琦 危胜
产业创新研究2024，Issue(14) ：96-98.
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电子级多晶硅制备过程中的质量影响因素研究

董丰琦 1危胜2
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作者信息

  • 1. 青海黄河水电公司新能源分公司,青海西宁 810000
  • 2. 青海黄河水电公司新能源分公司,青海西宁 810000;青海省新能源材料与储能技术重点实验室,青海西宁 810000
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摘要

电子级多晶硅是电子信息产业重要的基础材料,被广泛应用于集成电路、光伏电池、太阳能电池等领域.电子级多晶硅质量的高低直接影响到下游产品的性能和可靠性.因此,深入分析电子级多晶硅制备过程中的质量影响因素,对于提高产品质量和加快我国电子信息产业发展具有重要意义.基于此,本文首先概述了电子级多晶硅的发展与现状,并重点分析了影响电子级多晶硅质量的关键因素,以期为电子级多晶硅生产过程的控制和改进提供参考.

关键词

电子级多晶硅/制备过程/质量影响

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出版年

2024
产业创新研究
开益国际咨询研究中心（天津）

产业创新研究

CHSSCD
影响因子：0.193
ISSN：2096-4714
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