电子级多晶硅制备过程中的质量影响因素研究

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中文摘要：电子级多晶硅是电子信息产业重要的基础材料，被广泛应用于集成电路、光伏电池、太阳能电池等领域。电子级多晶硅质量的高低直接影响到下游产品的性能和可靠性。因此，深入分析电子级多晶硅制备过程中的质量影响因素，对于提高产品质量和加快我国电子信息产业发展具有重要意义。基于此，本文首先概述了电子级多晶硅的发展与现状，并重点分析了影响电子级多晶硅质量的关键因素，以期为电子级多晶硅生产过程的控制和改进提供参考。

作者：

董丰琦、危胜

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作者单位：

青海黄河水电公司新能源分公司,青海西宁 810000

青海省新能源材料与储能技术重点实验室,青海西宁 810000

关键词：

电子级多晶硅制备过程质量影响

出版年：

2024

产业创新研究

开益国际咨询研究中心（天津）

产业创新研究

CHSSCD

影响因子：0.193

ISSN：2096-4714

年,卷(期)：2024.(14)