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EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试

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研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试.EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14 μm,像元数2 048×2 048.在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19 μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm.
CCD camera in the EUV spectral region and its spatial resolution test

巩岩、宋谦、叶彬浔

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中国科学院,国家天文台,北京,100088

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033

EUV MCP CCD 空间分辨率

国家高技术研究发展计划(863计划)

10333010

2005

光学精密工程
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会

光学精密工程

CSCD北大核心
影响因子：2.059
ISSN：1004-924X
年,卷(期)：2005.13(z1)
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