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三维微细电解铣削加工的实时控制与检测

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为了实现三维微细电解铣削加工过程的实时监测,建立了基于Labwindows/CVI软件平台的控制与检测系统.对该系统所采用的三维轨迹生成及控制策略,数据采集及抗干扰算法,加工时间误差补偿算法等进行了研究.首先,根据微细电解铣削加工的特点,分析了加工控制与检测系统的需求.接着,搭建了高精度的三维微细铣削加工实验硬件平台.然后,利用虚拟仪器平台建立了基于分层铣削加工方式的三维轨迹进给控制模块,并对刀具轨迹的优化进行了讨论.最后,介绍了数据采集及反馈控制模块以及实时控制的时间补偿函数.基于上述控制与检测系统,实验并成功加工出了单层尺寸为15 μm×55 μm×15 μm的三层阶梯结构,结果表明,本系统可以满足微细电解铣削加工的高精度、快响应、稳定可靠等要求.
Real-time control and data acquisition system for 3D micro electrochemical milling

刘勇、曾永彬、朱荻、黄绍服、王少华

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南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016

微细电解铣削加工 Labwindows/CVI 分层铣削 数据采集 反馈控制

国家高技术研究发展计划(863计划)国家自然科学基金重点项目

2009AA04Z30250635040

2010

10.3788/OPE.20101806.1309

光学精密工程
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会

光学精密工程

CSTPCDCSCD北大核心EI
影响因子：2.059
ISSN：1004-924X
年,卷(期)：2010.18(6)
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