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可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化

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为提升光学镜头的成像质量,消除杂散光的影响,以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1％的减反射膜.采用电子束离子辅助沉积的制备方式,针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题,通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差,提高制备精度和成膜稳定性.对减反射膜进行环测实验,优化调整工艺参数,侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力.实验结果表明,最终制备出的减反射膜在420～680 nm波段内的平均反射率约为0.044％,最高反射率为0.0712％,克服了以MgF2为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题,满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求.
Thin-layer control error analysis and performance optimization of visible light anti-reflection film

thin filmelectron beam evaporation coatingerror controlmechanical propertiesvisible lightreflectance

付秀华、魏雨君、林兆文、潘永刚、李刚、付广元

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长春理工大学光电工程学院,吉林长春 130022

长春理工大学中山研究院,广东中山 528436

中山吉联光电科技有限公司,广东中山 528436

云南北方光学科技有限公司,云南昆明 650216

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光学薄膜 电子束蒸发镀膜 误差控制 机械性能 可见光 反射率

吉林省发改委项目中山市社会公益与基础研究项目(第二批)(2022)长春市激光制造与检测装备科技创新中心项目

2022C045-42022B20052014219

2024

10.37188/OPE.20243201.0001

光学精密工程
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会

光学精密工程

CSTPCD北大核心
影响因子：2.059
ISSN：1004-924X
年,卷(期)：2024.32(1)
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