摘要
为提升光学镜头的成像质量,消除杂散光的影响,以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1％的减反射膜.采用电子束离子辅助沉积的制备方式,针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题,通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差,提高制备精度和成膜稳定性.对减反射膜进行环测实验,优化调整工艺参数,侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力.实验结果表明,最终制备出的减反射膜在420～680 nm波段内的平均反射率约为0.044％,最高反射率为0.0712％,克服了以MgF2为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题,满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求.
基金项目
吉林省发改委项目(2022C045-4)
中山市社会公益与基础研究项目(第二批)(2022)(2022B2005)
长春市激光制造与检测装备科技创新中心项目(2014219)
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