溶胶-凝胶法制备Si基ZnO薄膜的光伏特性

郭晓雷 ¹赵娇玲 ¹田秦冠 ¹熊定康 ¹黄宇阳 ¹邓文¹

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作者信息

1. 广西大学物理科学与工程技术学院,广西南宁530004
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摘要

用溶胶-凝胶法在P型半导体Si(100)基片上生长了具有六角晶形的ZnO薄膜.SEM和XRD显示,C轴择优取向性明显,薄膜生长质量较好.ZnO薄膜的光致发光谱不仅有384.2nm的紫外波峰(FWHM=20.3nm),而且还有649.2nm的红光波峰(FWHM=214nm),两峰相对高度比为0.934.用波长为632.8nm的氦氖激光照射ZnO薄膜的表面,产生了明显的光伏效应.

关键词

ZnO薄膜/溶胶-凝胶法/光伏特性

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基金项目

广西自然科学基金重点项目(2010GXNSFDO13036)

广西大学研究生科研创新项目(GXU11T32596)

出版年

2012

广西物理

广西师范大学,广西物理学会

广西物理

ISSN：1003-7551

参考文献量1

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