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基于柔性聚合物薄膜的低维材料定点转移研究

Research on a fixed-site transfer method for low-dimensional materials based on flexible polymer film

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针对目前低维材料转移方案中过程复杂和衬底适应性差的难题,提出了一种常温常压下基于柔性聚合物薄膜聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)的低维材料定点转移方法.PDMS柔性膜的受力形变是实现其与不同衬底紧密贴合的基础,针对不同的目标衬底,仅需要更换对应的衬底微调系统盖板,结合三维位移机械系统,即可实现一维和二维材料的通用定点转移.该方法避免了转移过程中的真空吸附及衬底加热等严格条件,降低了材料的定点转移难度并提高了其稳定性和通用性.此外该方法也可实现低维材料同质结或其它垂直结构的构建,从而极大提高低维材料结构的丰富性.

谭欣、刘玉春、沈天赐、麻艳娜、谷付星

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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093

转移系统 定点转移 半导体纳米线 过渡金属硫化物 同质结

国家自然科学基金优秀青年科学基金

62122054

2022

10.3969/j.issn.1005-5630.2022.006.010

光学仪器
中国仪器仪表学会　上海光学仪器研究所　中国光学学会工程光学专业委员会

光学仪器

影响因子：0.432
ISSN：1005-5630
年,卷(期)：2022.44(6)
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