于志善、贾敏强、高冉、何庆雨
山东省计量科学研究院,山东济南250014
数控机床 激光干涉仪 温度 材料传感器 定位精度
国家重点研发计划
2018YFF0212300
2021
10.13228/j.boyuan.issn1002-1183.2019.0204