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静电消除器的原理及校准方法研究
静电消除器的原理及校准方法研究
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中文摘要:
在电子工业中,电子元器件越来越小型化、集成化,其本身存在静电敏感结构且各种高分子材料越来越被广泛应用,所以静电防护是一个非常重要不可回避的问题.在防静电材料和设施中,以离子风机为代表的静电消除器在工业中的应用越来越普遍,文章围绕静电消除器对其工作原理、校准用仪器及校准方法作简要的分析研究,为静电消除器的校准和工厂的静电防护提供一定的技术支撑.
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作者:
丁鹏程、祁丹、陈伟
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作者单位:
苏州市计量测试院,江苏苏州215128
关键词:
静电消除器
校准
静电平衡电压
静电电荷分析仪
出版年:
2021
DOI:
10.13228/j.boyuan.issn1002-1183.2020.0211
工业计量
冶金自动化研究设计院 中国计量协会
工业计量
影响因子:
0.256
ISSN:
1002-1183
年,卷(期):
2021.
31
(2)
被引量
1
参考文献量
6