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印刷式OLED喷墨打印装备微环境控制关键技术研究

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印刷式OLED显示技术具有不需要掩膜板、工艺流程简单、可适应大尺寸打印等优点.印刷式OLED喷墨打印机是印刷式OLED显示器件制造中的关键装备,对所处环境的温度、气压、洁净度、气流场等指标有较高要求.以上述环境指标受控为导向,分析印刷式OLED喷墨打印微环境控制原理,提出各指标的控制方法、控制系统结构等要点.技术实施后,喷头模组区域和基板载台区域的温度精度指标分别为(22±0.5)℃和(22±0.2)℃,气压范围控制在2～10 mbar(1 mbar=100 MPa),气压波动小于1.5 mbar,洁净度达到ISO2标准,气流场平流特性占主导地位.最后,对未来显示技术面临的挑战进行了展望.
Research on Key Technologies of Micro-Environmental Control for Printed OLED Inkjet Printing Equipment

李奇、周川堰、林书颖、刘成忠

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季华实验室,广东佛山 528200

印刷式OLED喷墨打印 微环境控制 温度控制 气压控制 气流场控制 洁净度

2023

10.14103/j.issn.2095-8412.2023.04.006

工业技术创新
中国电子信息产业发展研究院和赛迪工业和信息化研究院（集团）有限公司

工业技术创新

ISSN：2095-8412
年,卷(期)：2023.10(2)
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