光源与照明2024，Issue(1) ：49-51.

应用于LED的ITO薄膜光电性能研究

高鹏飞 石磊
光源与照明2024，Issue(1) ：49-51.
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应用于LED的ITO薄膜光电性能研究

高鹏飞 1石磊1
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作者信息

  • 1. 河北省产业转型升级服务中心,河北 石家庄 050000
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摘要

为提高出光效率,在出光面和电极之间需要一种导电性好、透光性高的薄膜材料.文章研究了直流磁控溅射法制备应用于LED的ITO薄膜时,O2 流量、溅射功率、溅射气压等工艺参数对薄膜光电性能的影响,并通过实验得出结论.

关键词

LED/ITO薄膜/磁控溅射/光电性能

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出版年

2024
光源与照明
上海市照明学会

光源与照明

影响因子：0.153
ISSN：
参考文献量13
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