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应用于LED的ITO薄膜光电性能研究
应用于LED的ITO薄膜光电性能研究
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中文摘要：
为提高出光效率,在出光面和电极之间需要一种导电性好、透光性高的薄膜材料.文章研究了直流磁控溅射法制备应用于LED的ITO薄膜时,O2 流量、溅射功率、溅射气压等工艺参数对薄膜光电性能的影响,并通过实验得出结论.
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作者：
高鹏飞、石磊
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作者单位：
河北省产业转型升级服务中心,河北 石家庄 050000
关键词：
LED
ITO薄膜
磁控溅射
光电性能
出版年：
2024
光源与照明
上海市照明学会
光源与照明
影响因子：
0.153
ISSN：
年,卷(期)：
2024.
(1)
参考文献量
13
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