光源与照明2024，Issue(2) ：41-43.

应用于太阳能电池的氮化硅薄膜性能研究

高鹏飞 石磊
光源与照明2024，Issue(2) ：41-43.
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应用于太阳能电池的氮化硅薄膜性能研究

高鹏飞 1石磊1
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  • 1. 河北省产业转型升级服务中心,河北 石家庄 050000
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摘要

太阳能电池是一种将光能转化为电能的发电技术,由于光入射到太阳能电池表面时会被部分反射,为了提高太阳能电池的效率,需要在电池表面制作一层透光薄膜作为减反射层.氮化硅(SiNx)薄膜是一种介电常数高、绝缘性好、光学性能优良的透明介质膜,广泛应用于集成电路、半导体器件和太阳能电池等领域,研究其性能对提高太阳能电池的效率具有重要意义.文章采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备氮化硅薄膜,研究了NH3/SiH4 流量比、衬底温度、反应腔气体压强等工艺参数对薄膜性能的影响,并进行分析.

关键词

太阳能电池/氮化硅薄膜/PECVD

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出版年

2024
光源与照明
上海市照明学会

光源与照明

影响因子：0.153
ISSN：
参考文献量13
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