应用于太阳能电池的氮化硅薄膜性能研究

扫码查看

原文链接

NETL
NSTL
万方数据
维普

中文摘要：太阳能电池是一种将光能转化为电能的发电技术,由于光入射到太阳能电池表面时会被部分反射,为了提高太阳能电池的效率,需要在电池表面制作一层透光薄膜作为减反射层.氮化硅(SiNx)薄膜是一种介电常数高、绝缘性好、光学性能优良的透明介质膜,广泛应用于集成电路、半导体器件和太阳能电池等领域,研究其性能对提高太阳能电池的效率具有重要意义.文章采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备氮化硅薄膜,研究了NH3/SiH4 流量比、衬底温度、反应腔气体压强等工艺参数对薄膜性能的影响,并进行分析.

作者：

高鹏飞、石磊

展开 >

作者单位：

河北省产业转型升级服务中心,河北石家庄 050000

关键词：

太阳能电池氮化硅薄膜 PECVD

出版年：

2024

光源与照明

上海市照明学会

光源与照明

影响因子：0.153

ISSN：

年,卷(期)：2024.(2)

参考文献量13