光源与照明2024，Issue(3) ：34-36.

湿化学清洗设备在GaN基LED正装芯片制作流程中的应用研究

刘莹
光源与照明2024，Issue(3) ：34-36.
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湿化学清洗设备在GaN基LED正装芯片制作流程中的应用研究

刘莹1
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  • 1. 福建兆元光电有限公司,福建 福州 350109
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摘要

现阶段,湿化学清洗设备在化工研究和生产领域应用不断增多,这类设备可以结合具体的生产需要,针对生产进行技术处理.湿化学清洗设备在LED芯片中有一定的应用,对于提升LED正装芯片质量和效率有积极作用.文章基于半导体清洗设备发展情况,针对LED芯片的制作流程,就湿化学清洗设备产能以及耗水计算方法进行分析,结合各次刻蚀清洗工艺后晶圆表面形貌分析,探讨了清洗设备在相关制造工艺中的应用.

关键词

湿化学清洗设备/GaN基/LED正装芯片

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出版年

2024
光源与照明
上海市照明学会

光源与照明

影响因子：0.153
ISSN：
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