湿化学清洗设备在GaN基LED正装芯片制作流程中的应用研究

扫码查看

原文链接

NETL
NSTL
万方数据

中文摘要：现阶段,湿化学清洗设备在化工研究和生产领域应用不断增多,这类设备可以结合具体的生产需要,针对生产进行技术处理.湿化学清洗设备在LED芯片中有一定的应用,对于提升LED正装芯片质量和效率有积极作用.文章基于半导体清洗设备发展情况,针对LED芯片的制作流程,就湿化学清洗设备产能以及耗水计算方法进行分析,结合各次刻蚀清洗工艺后晶圆表面形貌分析,探讨了清洗设备在相关制造工艺中的应用.

作者：

刘莹

展开 >

作者单位：

福建兆元光电有限公司,福建福州 350109

关键词：

湿化学清洗设备 GaN基 LED正装芯片

出版年：

2024

光源与照明

上海市照明学会

光源与照明

影响因子：0.153

ISSN：

年,卷(期)：2024.(3)