贵州科学2024,Vol.42Issue(1) :90-93.

基于电化学液膜法腐蚀制备STM钨探针的研究

Preparation of STM tungsten probe by electrochemical liquid membrane etch-ing

马玉麟 丁召 王一 郭祥
贵州科学2024,Vol.42Issue(1) :90-93.

基于电化学液膜法腐蚀制备STM钨探针的研究

Preparation of STM tungsten probe by electrochemical liquid membrane etch-ing

马玉麟 1丁召 1王一 1郭祥1
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作者信息

  • 1. 贵州大学 大数据与信息工程学院,贵州 贵阳 550025;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州 贵阳 550025;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵州 贵阳 550025
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摘要

高质量的探针是保证扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,STM)4K分辨率的关键.为得到原子级别的探针,实验基于电化学腐蚀原理,使用垂直液膜法制备钨探针.在制备过程中通过控制变量法,研究了腐蚀电压、液膜下钨丝长度等参数对探针质量的影响,实验发现,当使用2 mol/L的NaOH溶液作为液膜时,最佳腐蚀电压为5 V、最佳液膜下钨丝长度为4 mm.该研究为电化学液膜法腐蚀制备钨探针提供了参考依据.

Abstract

High quality probe is the key to ensure 4K resolution of the scanning tunneling microscope(STM).In order to obtain atomic-scale probe,the tungsten probe was prepared by vertical liquid membrane method based on electrochemical etching principle.The influence of etching voltage and tungsten wire length on the quality of the probe was studied by control variable method.The results showed that,when using 2 mol/L NaOH solution as the liquid membrane,the best etching voltage was 5 V,and the best length of tungsten wire was 4 mm.This study has provided reference for the preparation of tungsten probe by electrochemical liquid membrane etching.

关键词

液膜法/钨探针/电化学腐蚀/STM

Key words

liquid membrane method/tungsten probe/electrochemical etching/STM

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基金项目

国家自然科学基金(61564002)

国家自然科学基金(11664005)

贵州省科学技术基金资助项目(黔科合基础[2020]1Y271)

贵州大学培育项目(贵大培育[2019]58号)

半导体功率器件可靠性教育部研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-07)

出版年

2024
贵州科学
贵州科学院

贵州科学

影响因子:0.395
ISSN:1003-6563
参考文献量11
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