北华航天工业学院学报2007，Vol.17Issue(5) ：35-37.

探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析

An Analysis of Affection upon Measuring Results Arising from the Wander of Probes by Four-Point Square Probe Instrument

苏双臣 刘新福 张润利 刘金河
北华航天工业学院学报2007，Vol.17Issue(5) ：35-37.
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探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析

An Analysis of Affection upon Measuring Results Arising from the Wander of Probes by Four-Point Square Probe Instrument

苏双臣 1刘新福 2张润利 2刘金河2
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作者信息

  • 1. 河北工业大学,廊坊分院,河北,廊坊,065000
  • 2. 河北工业大学,天津,300130
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摘要

分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响,完成了测试薄层电阻的公式的推导,对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析,得出了测试结果满足测试误差要求的结论.

关键词

硅片/薄层电阻/四探针方法/探针游移/测试误差

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基金项目

河北省科学技术研究与发展计划(06213544)

河北省教育厅科研项目(2006449)

出版年

2007
北华航天工业学院学报
北华航天工业学院

北华航天工业学院学报

影响因子：0.265
ISSN：1673-7938
被引量1
参考文献量2
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