江苏科技大学学报(自然科学版)2021，Vol.35Issue(1) ：30-35.DOI:10.11917/j.issn.1673-4807.2021.01.005

反应磁控溅射周期结构TiN/ZrOxNy多层膜的微结构与膜基结合力

Microstructure and adhesionof periodic structure TiN/ZrOxNy multilayer film prepared by reactive magnetron sputtering

张冰烨 袁妍妍 涂昱淳 孙健 兰睿 晏超
江苏科技大学学报(自然科学版)2021，Vol.35Issue(1) ：30-35.DOI:10.11917/j.issn.1673-4807.2021.01.005
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反应磁控溅射周期结构TiN/ZrOxNy多层膜的微结构与膜基结合力

Microstructure and adhesionof periodic structure TiN/ZrOxNy multilayer film prepared by reactive magnetron sputtering

张冰烨 1袁妍妍 1涂昱淳 2孙健 1兰睿 1晏超1
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作者信息

  • 1. 江苏科技大学 材料科学与工程国家级实验教学示范中心,镇江212100
  • 2. 上海激光等离子体研究所,上海201800
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摘要

采用Ti靶和ZrO2靶在Ar、N2混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,在不同预处理的基底上沉积制备了一系列的TiN/ZrON周期结构多层膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米力学综合测试系统对薄膜的微结构、表面粗糙度和膜基结合力进行研究.结果表明,多层膜的结晶性整体较差,室温下沉积的薄膜多以非晶态形式存在.200℃生长温度下,结晶性略有提高.制备的多层膜均生长致密,颗粒分布较为均匀.在经过腐蚀处理和预镀一定厚度金属Ti层的不锈钢基底上生长的薄膜进行结合力测试.结果表明,增加预镀金属层的厚度和腐蚀处理方法可以提高薄膜的结合力.

关键词

TiN/ZrOxNy纳米多层膜/反应磁控溅射/表面粗糙度/膜基结合力

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基金项目

国家自然科学基金资助项目(51702133)

出版年

2021
江苏科技大学学报(自然科学版)
江苏科技大学

江苏科技大学学报(自然科学版)

北大核心
影响因子：0.373
ISSN：1673-4807
被引量1
参考文献量9
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