摘要
椭圆偏振光谱方法是获取薄膜复光学常数和厚度的最优光学测量手段之一,椭偏方程作为超越方程,其逆向求解过程中的反演算法直接影响着椭偏数据的处理效率与精度.以前期的蚁群算法为基础,为进一步提高算法的收敛速度和跳出局部最优解的能力,研究了模拟退火算法和蚁群算法的融合策略,并提出了一种基于最优蚂蚁的变步长方法,通过动态改变最优蚂蚁的领域局部搜索步长,提升算法的精细化搜索能力,最终给出了模拟退火-蚁群变步长优化算法.应用该优化算法分析了高温超导薄膜FeSe的椭偏光谱,测试结果表明,该混合优化算法可以实现椭偏数据的精确反演分析,并且具有更快的收敛速度和更优的评价函数.
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