哈尔滨工程大学学报2023,Vol.44Issue(3) :466-472.DOI:10.11990/jheu.202201006

扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正方法

Nonlinear error correction method of diffused silicon piezoresistive pressure sensors

杨秋菊 王彤
哈尔滨工程大学学报2023,Vol.44Issue(3) :466-472.DOI:10.11990/jheu.202201006

扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正方法

Nonlinear error correction method of diffused silicon piezoresistive pressure sensors

杨秋菊 1王彤1
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作者信息

  • 1. 西南石油大学电气信息学院, 四川成都 610500
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摘要

针对扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正易受到误差传递算法的影响,导致纠正后最大相对波动较高的问题,本文提出基于恢复函数的压力传感器非线性误差纠正方法.采集扩散硅压阻式压力传感器信号数据,去除噪音信号,以恢复函数为基础,设计传感器的非线性误差传递算法;利用支持向量机算法构建非线性误差校正模型,再通过遗传算法优化模型参数,实现误差的良好补偿.实验结果表明:本文所提出的纠正方法应用效果与文献相比,传感器的最大相对波动分别降低了13.53%与7.08%,具有更优的应用性能,值得推广.

关键词

恢复函数/扩散硅压阻式压力传感器/非线性误差/校正模型/支持向量机/遗传算法/测量误差分布/补偿

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基金项目

国家自然科学基金(61501365)

2021年南充市市校科技战略合作项目(SXHZ024)

出版年

2023
哈尔滨工程大学学报
哈尔滨工程大学

哈尔滨工程大学学报

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子:0.655
ISSN:1006-7043
被引量1
参考文献量23
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