中国石油和化工标准与质量2023，Vol.43Issue(2) ：156-158.

对三氟化氮几种制备技术和纯化技术的探讨分析

郭金森
中国石油和化工标准与质量2023，Vol.43Issue(2) ：156-158.
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对三氟化氮几种制备技术和纯化技术的探讨分析

郭金森1
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  • 1. 福建三化元福新材料有限公司,福建 三明 365000
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摘要

三氟化氮是微电子产业中使用的特种气体,是电子刻蚀气主要产品,主要用于生产半导体芯片、液晶平板显示器及光伏电池等.本文介绍了三氟化氮气体的特性,对其几种制备技术、纯化、精馏技术进行了分析和探讨.

关键词

三氟化氮/氟气直接反应/熔盐电解/低温精馏/化学吸收/化学转化

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出版年

2023
中国石油和化工标准与质量
中国化工信息中心 中化化工标准化研究所

中国石油和化工标准与质量

影响因子：0.241
ISSN：1673-4076
参考文献量3
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