中国石油和化工标准与质量2023，Vol.43Issue(8) ：98-100.

振动时效和热时效对原生多晶硅棒应力消除研究

刘虎 杜斌功 周国峰
中国石油和化工标准与质量2023，Vol.43Issue(8) ：98-100.
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振动时效和热时效对原生多晶硅棒应力消除研究

刘虎 1杜斌功 2周国峰2
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作者信息

  • 1. 青海黄河水电公司新能源分公司,青海 西宁 810000;青海省新能源材料与储能技术重点实验室,青海 西宁 810000
  • 2. 青海黄河水电公司新能源分公司,青海 西宁 810000
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摘要

在还原炉内硅芯既是硅沉积的载体,也是还原炉的热源[1-2].随着多晶硅生产工艺升级以及生产规模的扩大,使用线切割机切割的方硅芯[3-4]已逐步替代了区熔法拉制的圆硅芯[5].本文对使用原生多晶硅棒切割方硅芯的工艺可行性进行了讨论,重点讨论了热时效和振动时效对原生多晶硅棒应力释放的处理效果.

关键词

振动时效/热时效/线切割/残余应力/多晶硅

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出版年

2023
中国石油和化工标准与质量
中国化工信息中心 中化化工标准化研究所

中国石油和化工标准与质量

影响因子：0.241
ISSN：1673-4076
被引量1
参考文献量8
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