石油化工建设2024，Vol.46Issue(8) ：111-113.

超纯水组合式除硼工艺探讨

禹路 宗盼盼
石油化工建设2024，Vol.46Issue(8) ：111-113.
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超纯水组合式除硼工艺探讨

禹路 1宗盼盼1
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  • 1. 江苏中电创新环境科技有限公司 江苏无锡 214000
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摘要

主要探讨了超纯水除硼工艺中,组合式的二级RO反渗透膜装置+EDI连续电除盐装置+后置SA阴床装置+抛光混床装置的除硼工艺,对硼的实际去除效果及运行数据分析.该组合式工艺可稳定满足B出水指标50PPT以下,满足现行半导体超纯水系统对终端B指标超高要求.通过对该组合式工艺运行效果分析,可为后续的超纯水除硼项目提供设计参考.

关键词

半导体/超纯水/组合式除硼工艺

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出版年

2024
石油化工建设
中国化学工程集团公司,中国建筑业协会石化建设分会

石油化工建设

影响因子：0.216
ISSN：1672-9323
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