超纯水组合式除硼工艺探讨

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中文摘要：主要探讨了超纯水除硼工艺中,组合式的二级RO反渗透膜装置+EDI连续电除盐装置+后置SA阴床装置+抛光混床装置的除硼工艺,对硼的实际去除效果及运行数据分析.该组合式工艺可稳定满足B出水指标50PPT以下,满足现行半导体超纯水系统对终端B指标超高要求.通过对该组合式工艺运行效果分析,可为后续的超纯水除硼项目提供设计参考.

作者：

禹路、宗盼盼

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作者单位：

江苏中电创新环境科技有限公司江苏无锡 214000

关键词：

半导体超纯水组合式除硼工艺

出版年：

2024

石油化工建设

中国化学工程集团公司,中国建筑业协会石化建设分会

石油化工建设

影响因子：0.216

ISSN：1672-9323

年,卷(期)：2024.46(8)