石油和化工设备2024，Vol.27Issue(7) ：97-100.

多晶硅流化床气体分布器的设计与优化

吕子婷 江郡 阚苏玉 姜龙骏 树童 钟宇航
石油和化工设备2024，Vol.27Issue(7) ：97-100.
✕
  • 维普
  • 万方数据

多晶硅流化床气体分布器的设计与优化

吕子婷 1江郡 1阚苏玉 1姜龙骏 1树童 1钟宇航1
扫码查看

作者信息

  • 1. 江苏中圣压力容器装备制造有限公司 南京 211100
  • 折叠

摘要

气体分布器是影响多晶硅流化床反应器流化效果的关键内构件.本文全面梳理了多晶硅流化床分布器的设计要点,指出喷嘴的结构形式、分布器开孔率、喷嘴的布置方式和分布板的形式是在设计时需要重点考虑的因素.通过对三氯氢硅流化床反应器的气体分布器进行CFD模拟和优化改造发现,改进喷嘴结构、喷嘴数目和布置方式的优化方案,以及CFD数值模拟的量化分析方法,可以解决三氯氢硅流化床流化不佳,喷嘴堵塞严重的问题.

关键词

流化床/气体分布器/喷嘴/多晶硅/流化效果

引用本文复制引用

出版年

2024
石油和化工设备
中国化工机械动力技术协会

石油和化工设备

影响因子：0.173
ISSN：1674-8980
参考文献量3
段落导航相关论文