冶金与材料2024，Vol.44Issue(9) ：58-62.

溅射靶材用铌材的电子束熔炼提纯杂质去除机理研究

李欣琳 任军帅 成佳鹏 高婷 薛少博
冶金与材料2024，Vol.44Issue(9) ：58-62.
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溅射靶材用铌材的电子束熔炼提纯杂质去除机理研究

李欣琳 1任军帅 1成佳鹏 1高婷 1薛少博1
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作者信息

  • 1. 西北有色金属研究院,陕西 西安 710016
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摘要

文章采用真空电子束熔炼的方式,对溅射靶材用铌材进行多次提纯.应用GDMS的方法对熔炼后的铌锭端面、中部以及底部杂质含量进行检验,判断铸锭不同位置杂质脱除情况.结果显示,铸锭杂质脱除率与饱和蒸气压差存在对应关系,间隙元素C、N、O主要是以气体形式直接挥发去除,非间隙元素Fe、Si元素含量在铸锭轴向从上到下逐渐减少,Mo、Ta、W、Zr四种元素在铸锭轴向上分布区别并不明显.熔炼后,Ta、W元素含量与原料相比没有变化,Mo、Zr元素含量显著比原料低,非间隙元素为蒸发和定向凝固协同控制脱除机制.

关键词

溅射靶材/铌/电子束熔炼/杂质去除

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出版年

2024
冶金与材料
黑龙江省金属学会

冶金与材料

影响因子：0.162
ISSN：2096-4854
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