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三维轮廓测量系统设计与试验分析

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针对微纳结构表面轮廓快速精准测量问题,文章设计了一套基于干涉显微法原理的三维轮廓测量系统.系统包括光学系统装置,精密扫描驱动装置和采集图像数据装置.以标准单刻线样板和标准台阶为测试对象,进行了测量能力和示值重复性试验,数据表明,系统垂直测量精度可达 1 nm,测量绝对误差范围在 0.001～0.007 μm,示值重复性为 0.096 6%.结果说明系统具有测量面积大、可靠性高和非接触等特点,可实现微纳结构表面轮廓的非破坏性、快速精准测量.

孙云龙、史立凯

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江苏电子信息职业学院 电子工程学院,江苏 淮安 223003

三维轮廓测量系统 非接触 干涉显微法

2022年淮安市创新能力建设计划项目2021年淮安市自然科学研究计划(指导性)项目2021年学校科技创新团队项目

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2024

造纸装备及材料
湖南省造纸学会 湖南省造纸研究所有限公司

造纸装备及材料

影响因子：0.098
ISSN：1672-3066
年,卷(期)：2024.53(6)
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