摘要
针对微纳结构表面轮廓快速精准测量问题,文章设计了一套基于干涉显微法原理的三维轮廓测量系统.系统包括光学系统装置,精密扫描驱动装置和采集图像数据装置.以标准单刻线样板和标准台阶为测试对象,进行了测量能力和示值重复性试验,数据表明,系统垂直测量精度可达 1 nm,测量绝对误差范围在 0.001～0.007 μm,示值重复性为 0.096 6%.结果说明系统具有测量面积大、可靠性高和非接触等特点,可实现微纳结构表面轮廓的非破坏性、快速精准测量.
基金项目
2022年淮安市创新能力建设计划项目(HAP202203)
2021年淮安市自然科学研究计划(指导性)项目(HABZ202124)
2021年学校科技创新团队项目(JSEIY2021005)
维普
万方数据