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柔性基板聚酰亚胺涂布装备研发技术方案及其创新点
柔性基板聚酰亚胺涂布装备研发技术方案及其创新点
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中文摘要：
文章概述了柔性基板聚酰亚胺涂布装备研发方向,分析了研发中待解决的技术问题,提出了研发技术方案,阐述了该方案的创新点,并探讨了技术成果的应用前景及影响,以期进一步扩大国内外市场.
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作者：
郭生华
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作者单位：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司,辽宁 沈阳 110168
关键词：
柔性基板
聚酰亚胺
涂布装备
出版年：
2024
造纸装备及材料
湖南省造纸学会 湖南省造纸研究所有限公司
造纸装备及材料
影响因子：
0.098
ISSN：
1672-3066
年,卷(期)：
2024.
53
(11)
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