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用于圆形口径光学元件的功率谱密度检测

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光学元件加工质量的检测和评价是保证整个光学系统安全、正常运行的关键.波前功率谱密度(Power Spectral Density,PSD)能给出光学表面的空间频谱分布,反映高精度光学元件加工质量的特殊要求.在总结现有功率谱密度指标基础上,提出由于圆形口径的旋转对称性,可以采用径向波前功率谱密度来表征圆形口径光学元件波前频谱分布特征的方法,并给出了采用三坐标仪作为测试仪器测量圆形口径光学元件的波前功率谱密度时相应的数值计算方法.
Power spectral density measurement for circular optical surfaces
As the key of supplying the safe and normal running of the whole optical system,it is important to test and evaluate the quality of optical components.The wavefront power spectral density (PSD) can give the spatial frequency distribution of wavefront aberration and specify the optical components.Based on summarizing the existing PSD specification,one dimension radial PSD be used for specification the character of the spatial frequency distribution of wavefront aberration about the circular optical surfaces is advanced,its calculation about PSD in testing circular optical surface with coordinate measure machine are explored in this article.

Power spectral densityOptic testingSpatial frequency

陈伟、姚汉民、伍凡、朋汉林、吴时彬

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中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209

中国科学院研究生院,北京,100039

功率谱密度 光学检测 空间频率

国家重点基础研究发展计划(973计划)

2006

红外与激光工程
中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所

红外与激光工程

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子:0.754
ISSN:1007-2276
年,卷(期):2006.35(z2)
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