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移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术

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叙述了自行研制的移相式泰曼-格林红外干涉仪的工作原理.针对红外光不可见的特点,利用可见光和红外光的共光路调试技术,解决了精确定位红外光路的难题,设计出一套红外干涉仪的调整方案.分别对平面镜、精磨粗糙平面和精磨粗糙球面的面形进行了测试,并使用四步移相算法还原被测波面,给出了结果数据和二维等值图、三维立体图;所测平面镜和精磨粗糙平面的面形偏差为0.077λ(PV),精磨粗糙球面面形偏差为0.520λ(PV)(λ=10.6μm).结果表明:仪器干涉系统光学质量优于λ/25,重复性优于λ/200,(λ=10.6μm).
Alignment of Twyman-Green infrared phase-shifting interferometer

贺俊、王青、陈磊

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南京理工大学,电子工程与光电技术学院,江苏,南京,210094

南京北方信息产业集团,江苏,南京,210022

红外干涉仪 干涉仪调试 移相算法

中国科学院南京天文光学技术研究所φ30mm红外干涉仪项目

2008

红外与激光工程
中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所

红外与激光工程

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.754
ISSN：1007-2276
年,卷(期)：2008.37(3)
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