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Maxμm Ultra全自动金丝键合机关键技术分析与维修维护

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金丝键合机是一种高精密的半导体封装设备,现结合多年的金丝键合设备管理与维修经验,对美国K&S公司的Maxμm Ultra全自动金丝键合机工作原理、结构、维护和维修进行简单介绍.

李双江、贺从勇、陶怀亮

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中国电子科技集团公司第二十四研究所,重庆400060

全自动金丝键合机 音圈电机 维护 维修

2022

10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2022.13.019

机电信息
江苏《机电信息》杂志社有限公司

机电信息

影响因子：0.453
ISSN：1671-0797
年,卷(期)：2022.(13)
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