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半导体硅片制备技术及产业现状

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介绍半导体硅片制备技术及理论,分析目前全球硅片的产业概况、产业历史发展趋势及特点;结合我国目前的实际情况,论述国内大力发展硅片产业面临的机遇、挑战及存在的问题.
Manufacturing technique and industry status of semiconductor silicon wafers

闫志瑞、库黎明、白杜娟、陈海滨、王永涛

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有研半导体材料有限公司,北京 100088

半导体 硅片 产业现状 技术 机遇 挑战

2020

10.13394/j.cnki.jgszz.2020.4.0001

金刚石与磨料磨具工程
郑州磨料磨具磨削研究所

金刚石与磨料磨具工程

CSTPCD北大核心
影响因子：0.354
ISSN：1006-852X
年,卷(期)：2020.40(4)
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