激光与光电子学进展2024,Vol.61Issue(3) :55-60.DOI:10.3788/LOP232621

s偏振激光斜入射诱导类"叶脉"状自组织条纹结构(特邀)

s-Polarized Laser Oblique Incidence Induces"Leaf Vein-Like"Self-Organizing Stripe Structures(Invited)

耿娇 严吉 石理平
激光与光电子学进展2024,Vol.61Issue(3) :55-60.DOI:10.3788/LOP232621

s偏振激光斜入射诱导类"叶脉"状自组织条纹结构(特邀)

s-Polarized Laser Oblique Incidence Induces"Leaf Vein-Like"Self-Organizing Stripe Structures(Invited)

耿娇 1严吉 2石理平1
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作者信息

  • 1. 西安电子科技大学杭州研究院,浙江 杭州 311231;西安电子科技大学光电工程学院,陕西 西安 710071
  • 2. 西安电子科技大学杭州研究院,浙江 杭州 311231;西安电子科技大学光电工程学院,陕西 西安 710071;上海应用技术大学理学院,上海 201418
  • 折叠

摘要

在金属铂和非晶硅构成的复合薄膜上,观察到了在斜入射条件下由s偏振激光诱导产生的、具有氧化周期性结构的、远离中轴线且外侧结构倾斜的周期性结构.首先,稳态照射下产生的条纹结构呈叶脉状,既不平行也不垂直于激光偏振方向;其次,动态扫描时产生的结构取向单一且与扫描方向有关;最后,结构周期随着入射角的增大而减小.这几个现象均与通常的激光烧蚀周期性结构不同.这些发现为调控激光诱导自组织提供了更多可能性.

Abstract

On the composite thin-film composed of platinum metal and amorphous silicon,periodic structures with oxidation periodicity induced by s-polarized laser,far from the central axis,and tilted outer structures are observed under oblique incidence conditions.First,the generated stripe structures exhibit a leaf vein-like pattern,neither parallel nor perpendicular to the polarization direction of the laser.Second,the structural orientation generated during dynamic scanning is single and dependent on the scanning direction.Finally,the period of the structure decreases with increasing incident angle.These phenomena differ from typical laser ablation periodic structures.This discovery provides more possibilities for regulating laser-induced self-organization.

关键词

激光诱导周期性表面结构/斜入射/纳米光栅/金属-半导体复合薄膜

Key words

laser-induced periodic surface structures/oblique incidence/nano-gratings/metal-semiconductor composite thin-film

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基金项目

国家自然科学基金(62105269)

出版年

2024
激光与光电子学进展
中国科学院上海光学精密机械研究所

激光与光电子学进展

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子:1.153
ISSN:1006-4125
参考文献量24
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