激光与红外2023，Vol.53Issue(10) ：1552-1554.DOI:10.3969/j.issn.1001-5078.2023.10.013

红外探测器制备中不同镀金层的对比分析

Comparative analysis of the difference gold plating layers in IRFPA

刘森 张磊 杨斌 李忠贺
激光与红外2023，Vol.53Issue(10) ：1552-1554.DOI:10.3969/j.issn.1001-5078.2023.10.013
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红外探测器制备中不同镀金层的对比分析

Comparative analysis of the difference gold plating layers in IRFPA

刘森 1张磊 1杨斌 1李忠贺1
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作者信息

  • 1. 华北光电技术研究所,北京 100015
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摘要

针对红外探测器制备过程中的多种镀金工艺展开了研究,通过对不同工艺制备的镀金层进行扫描电镜观察,发现不同的镀金工艺制备的样品存在较大的差异.电镀金层的晶粒直径为2～3 μm,真空蒸发镀金的晶粒直径为100～600 nm,离子束溅射镀金的晶粒直径在30～70 nm之间.对不同的方法制备的金层与铟焊料的扩散速度进行了试验及分析,发现晶粒尺寸越小铟的扩散速度越快.

关键词

IRFPA电镀/真空蒸发/离子束溅射/晶粒

Key words

IRFPA electronic plating/vacuum evaporation/IBS/crystalline grain

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出版年

2023
激光与红外
华北光电技术研究所

激光与红外

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.723
ISSN：1001-5078
参考文献量7
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