摘要
根据可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术测量气体浓度的基本原理,对三种主要测量方法,即直接吸收光谱技术(DAS)、波长调制技术(WMS)、频率调制光谱技术(FMS)进行详细分析,并根据TDLAS技术的应用情况,分别将系统组成、技术要点、检测极限、系统成本和适用环境进行对比分析.
Abstract
According to the basic principle of tunable semiconductor laser absorption spectroscopy(TDLAS)tech-nology to measure gas concentration,three main measurement methods,namely direct absorption spectroscopy(DAS),wavelength modulation(WMS),frequency modulation spectroscopy(FMS),are analyzed in detail,and according to the application of TDLAS technology,The system composition,technical key points,detection limit,system cost and applicable environment are compared and analyzed respectively.
基金项目
中科院合肥物质科学研究院院长基金(YZJJQY202204)
中科院合肥物质科学研究院院长基金(2021YZGH02)
国家重点研发计划专项(2017YFE300103)
国家重大科技基础设施项目(2018-000052-73-01-001228)
安徽省自然科学基金(2208085MA19)
NETL
NSTL
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