数据驱动的半导体生产设备运行故障预警方法

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中文摘要：设备故障预警能根据设备的运行规律预测设备运行状态,以减少由设备故障造成的损失.国产半导体产线难以采集到设备失效时刻的故障数据,使得基于正常运行数据来实现半导体设备的故障预警变得较为困难.文章提出一种数据驱动的半导体生产设备故障预警方法,该方法利用数理统计分析工业现场采集的设备正常运行数据,计算设备真实的平均无故障间隔时间,当设备距离上一次故障的时间接近MTBF时,则需要进行设备运行故障预警.

作者：

彭振文、宋莹洁、高梓文、曹丽婷

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作者单位：

湖南大学,湖南长沙 410082

关键词：

故障预警数据驱动半导体设备

出版年：

2024

今日制造与升级

ISSN：

年,卷(期)：2024.(1)

参考文献量5