今日制造与升级2024，Issue(1) ：6-8.

数据驱动的半导体生产设备运行故障预警方法

彭振文 宋莹洁 高梓文 曹丽婷
今日制造与升级2024，Issue(1) ：6-8.
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数据驱动的半导体生产设备运行故障预警方法

彭振文 1宋莹洁 1高梓文 1曹丽婷1
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作者信息

  • 1. 湖南大学,湖南长沙 410082
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摘要

设备故障预警能根据设备的运行规律预测设备运行状态,以减少由设备故障造成的损失.国产半导体产线难以采集到设备失效时刻的故障数据,使得基于正常运行数据来实现半导体设备的故障预警变得较为困难.文章提出一种数据驱动的半导体生产设备故障预警方法,该方法利用数理统计分析工业现场采集的设备正常运行数据,计算设备真实的平均无故障间隔时间,当设备距离上一次故障的时间接近MTBF时,则需要进行设备运行故障预警.

关键词

故障预警/数据驱动/半导体设备

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出版年

2024
今日制造与升级

今日制造与升级

ISSN：
参考文献量5
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