今日制造与升级2024，Issue(11) ：25-27.

半导体AMAT Centura 5200设备外延工艺颗粒异常改善提升技术分析

陆爱国
今日制造与升级2024，Issue(11) ：25-27.
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半导体AMAT Centura 5200设备外延工艺颗粒异常改善提升技术分析

陆爱国1
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  • 1. 济南比亚迪半导体有限公司,山东济南 250000
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摘要

半导体硅外延生长工艺操作过程中会产生多种缺陷,包括晶圆膜厚、电阻率均匀性差、颗粒、划痕、滑移线、条纹以及雾等,其中导致颗粒异常的工艺因素有很多.基于此,分析提供该类型外延炉颗粒异常管控改善的方法及措施,通过建立完善的FTA分析,提升改善颗粒超标工艺结果,提高晶圆产品良率,为相关半导体行业提供参考和借鉴.

关键词

半导体/外延生长/AMAT/Centura/颗粒

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出版年

2024
今日制造与升级

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