摘要
目的 研究在役晶体管湿热试验的失效模式及失效机理,为减少晶体管失效提出改进建议.方法 选取长期贮存了10余年未失效的3型在役晶体管进行湿热环境试验,采用扫描电镜观测、电性能参数测试、离子色谱分析等方法研究晶体管失效的模式和失效机理.结果 晶体管经过2160 h湿热试验后,有3.75％的晶体管发生失效,其中晶体管管腿断裂失效比例占2.50％,失效机理为应力腐蚀开裂;晶体管参数超标比例为1.25％,失效机理为器件背部或三防漆所含粘附离子引起的漏电.结论 湿热试验会加速在役晶体管的失效,其失效模式主要为因应力腐蚀开裂导致的管腿断裂以及因表面粘附离子引起的参数超差.建议在晶体管的寿命期内加强质量管理,改善不当的制管工艺,减少器件的内部缺陷及残余应力的存在,控制器件贮存环境的温湿度以及大气成分,杜绝氯离子等粘附离子及其他活性物质的引入.
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