摘要
为获取最优单晶硅生长参数,利用FEMAG软件完成 300CM单晶硅热场特征的模拟.应用FEMAG软件的Furgeo、Crygeo模块获取炉体、晶体的几何结构.利用IniMesh得到热场的总体几何结构,通过GemMesh模块划分热场总体几何结构网格,并通过设定具体参数获取最优非结构网格,根据已经确定的材料基础数量、晶体原理位置和熔体自由表面位置建立热场模型,仿真分析 300CM单晶硅热场特征.实验结果表明:300CM单晶硅熔体在水平磁场下的流动具有三维非对称性;拉速几乎不影响单晶硅熔体热场分布;加强型热屏影响下热场的各种固液界面形状变化最小、最平坦,熔体在纵向温度梯度上的变化量最少;坩埚转速加快不影响固液界面的温度梯度.
基金项目
青海省重点研发与转化项目(2021-GX-C01)
青海民族大学校级重点项目(2021XJGH02)
NETL
NSTL
维普
万方数据