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基于线距标准样片的扫描电镜校准方法探讨

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为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法.首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标准样片,并对样片进行了质量参数考核.其次,分析了现有检定规程的局限性,并研究了扫描电镜放大倍数示值误差、重复性、图像线性失真度等参数的实际校准方法.最后,使用自行研制且经过溯源的线距标准样片对扫描电镜在100K倍下的示值误差进行了校准实验,结果表明:自行研制样片的指标可以达到校准电镜的要求,被校电镜的示值误差在2％的范围以内,校准方法有效.
Discussion on the Calibration Method of Scanning Electron Microscope Based on Line Distance Standard Samples

赵琳、张晓东、李锁印、韩志国、吴爱华

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中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 050051

扫描电镜 半导体工艺 标准样片 质量参数 校准方法

2021

10.3969/j.issn.1672-9722.2021.04.007

计算机与数字工程
中国船舶重工集团公司第七0九研究所

计算机与数字工程

CSTPCD
影响因子：0.355
ISSN：1672-9722
年,卷(期)：2021.49(4)
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