机械工程师2003，Issue(7) ：22-24.

铌酸锂晶片CMP过程的工艺参数研究

Study of the Technical Parameters of CMP Process of LiNb03 Cubic Flake Machining Powder Metalized Parts

邢彤 袁巨龙 赵文宏 曹志锡
机械工程师2003，Issue(7) ：22-24.
✕
  • NETL
  • NSTL
  • 维普
  • 万方数据

铌酸锂晶片CMP过程的工艺参数研究

Study of the Technical Parameters of CMP Process of LiNb03 Cubic Flake Machining Powder Metalized Parts

邢彤 1袁巨龙 1赵文宏 1曹志锡1
扫码查看

作者信息

  • 1. 浙江工业大学,浙江,杭州,310014
  • 折叠

摘要

在铌酸锂晶片的化学机械抛光过程中,许多参数会在根本上影响CMP的化学和机械作用,但是把某一参数简单地归类于化学参数或机械参数都是不恰当的,文中分析了这些参数以及如何控制这些参数来影响CMP过程.

关键词

铌酸锂晶片/化学机械抛光/工艺参数

引用本文复制引用

基金项目

浙江省自然科学基金 (501097)

浙江省科技厅资助项目(2003C21036)

浙江省青年科技人才专项基金(RC02066)

出版年

2003
机械工程师
黑龙江省机械科学研究院 黑龙江省机械工程学会

机械工程师

影响因子：0.136
ISSN：1002-2333
被引量3
参考文献量9
段落导航相关论文