超精表面粗糙度的原子力显微镜测量

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中文摘要：介绍了表面粗糙度的形成及原子力显微镜的工作原理,实验结果表明,采用原子力显微镜测量超精加工表面粗糙度可使测量精度达到了纳米级,通过对表面粗糙度测量结果的分析,验证了方法的可靠性.

外文标题：The Atomic Force Microscope(AFM)for Measurement of the Roughness of the Ultra-precise Surfaces

作者：

关国强

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作者单位：

哈尔滨理工大学,机械动力工程学院,黑龙江,哈尔滨,150080

关键词：

粗糙度原子力显微镜测量

出版年：

2004

机械工程师

黑龙江省机械科学研究院黑龙江省机械工程学会

影响因子：0.136

ISSN：1002-2333

年,卷(期)：2004.(4)