MEMS麦克风综述

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中文摘要：针对快速发展的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)麦克风器件,本文章介绍了MEMS麦克风的发展历史及国内外研究现状,分析了MEMS麦克风相较于其它类型麦克风的优势,比较了MEMS麦克风的不同类型,回顾了MEMS麦克风的三次应用浪潮,展望了MEMS麦克风的发展趋势,并对MEMS麦克风的标准化提出建议.

作者：

宋辰阳、李建友、李根梓

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作者单位：

雁栖湖基础制造技术研究院(北京)有限公司

关键词：

微机电系统(MEMS) MEMS麦克风 MEMS麦克风的标准化

基金：

国家重点研发计划项目

项目编号：

2022YFB3207105

出版年：

2024

机械工业标准化与质量

中机生产力促进中心中国机械工业标准化技术协会

机械工业标准化与质量

影响因子：0.121

ISSN：1007-6905

年,卷(期)：2024.(1)