机械工业标准化与质量2024，Issue(1) ：44-49.

MEMS麦克风综述

宋辰阳 李建友 李根梓
机械工业标准化与质量2024，Issue(1) ：44-49.
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MEMS麦克风综述

宋辰阳 1李建友 1李根梓1
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作者信息

  • 1. 雁栖湖基础制造技术研究院(北京)有限公司
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摘要

针对快速发展的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)麦克风器件,本文章介绍了MEMS麦克风的发展历史及国内外研究现状,分析了MEMS麦克风相较于其它类型麦克风的优势,比较了MEMS麦克风的不同类型,回顾了MEMS麦克风的三次应用浪潮,展望了MEMS麦克风的发展趋势,并对MEMS麦克风的标准化提出建议.

关键词

微机电系统(MEMS)/MEMS麦克风/MEMS麦克风的标准化

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基金项目

国家重点研发计划项目(2022YFB3207105)

出版年

2024
机械工业标准化与质量
中机生产力促进中心 中国机械工业标准化技术协会

机械工业标准化与质量

影响因子：0.121
ISSN：1007-6905
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