MEMS压力传感器测试技术研究现状

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中文摘要：现代MEMS压力传感器测试已经趋向于自动化与虚拟仿真化.本文简述了研究者们为了实现MEMS压力传感器的自动化测试所研制设计的不同测试系统,介绍了不同的研究者在LabVIEW的虚拟环境中实现了对MEMS压力传感器的测试,归纳了 MEMS压力传感器测试技术的应用.指出了应共同制定和推广统一的测试标准,以确保测试结果的可比性.

作者：

张晋熙、肖承翔、潘康华、李根梓

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作者单位：

中国机械科学研究总院集团有限公司

中机生产力促进中心有限公司

关键词：

MEMS压力传感器测试技术 LabVIEW 标准化

出版年：

2024

机械工业标准化与质量

中机生产力促进中心中国机械工业标准化技术协会

机械工业标准化与质量

影响因子：0.121

ISSN：1007-6905

年,卷(期)：2024.(7)