机械工业标准化与质量2024，Issue(7) ：1-5.

MEMS压力传感器测试技术研究现状

张晋熙 肖承翔 潘康华 李根梓
机械工业标准化与质量2024，Issue(7) ：1-5.
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MEMS压力传感器测试技术研究现状

张晋熙 1肖承翔 2潘康华 2李根梓2
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作者信息

  • 1. 中国机械科学研究总院集团有限公司
  • 2. 中机生产力促进中心有限公司
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摘要

现代MEMS压力传感器测试已经趋向于自动化与虚拟仿真化.本文简述了研究者们为了实现MEMS压力传感器的自动化测试所研制设计的不同测试系统,介绍了不同的研究者在LabVIEW的虚拟环境中实现了对MEMS压力传感器的测试,归纳了 MEMS压力传感器测试技术的应用.指出了应共同制定和推广统一的测试标准,以确保测试结果的可比性.

关键词

MEMS压力传感器/测试技术/LabVIEW/标准化

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出版年

2024
机械工业标准化与质量
中机生产力促进中心 中国机械工业标准化技术协会

机械工业标准化与质量

影响因子：0.121
ISSN：1007-6905
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