轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发

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中文摘要：指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义,论述高精度表面轮廓仪系列分类.新的第 3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题.当ELCOMAT 3000/10 自准直仪在50 mm固定距离精密较正后,NSP即可能达到 50 nrad rms检测精度.

外文标题：Method on the Surface Profiler Testingfor Large Mirrors and Nano-Accuracy Surface Profiler(NSP)

外文关键词：

surface profilertesting for large mirrorsnano-accuracythird generation surface pro-filer

作者：

李剑白、钱石南、李小芸、Mourad Idir

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作者单位：

江西省科学院,330096,南昌

布鲁克海文国家实验室,11973,NY,USA

关键词：

表面轮廓仪大尺寸反射镜测试纳精度第3代表面轮廓仪

基金：

美国能源部项目Brookhaven Science Associates LLC授权项目

项目编号：

DE-AC02-98CH10886

出版年：

2023

DOI：

江西科学

江西省科学院

影响因子：0.286

ISSN：1001-3679

年,卷(期)：2023.41(4)