机械设计与制造2020,Issue(3) :211-213,219.

基于Workbench对硅片切割加工夹具的优化设计

Optimal Design of Silicon Wafer Cutting Fixture Based on Workbench

刘建 吴波
机械设计与制造2020,Issue(3) :211-213,219.

基于Workbench对硅片切割加工夹具的优化设计

Optimal Design of Silicon Wafer Cutting Fixture Based on Workbench

刘建 1吴波1
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作者信息

  • 1. 武汉理工大学机电工程学院,湖北 武汉 430070
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摘要

针对硅棒在切割加工过程中加工精度不足、效率低等问题,研发了一款用于硅棒加工的金刚石切割夹具.为了使夹具系统的性能更好,使用Workbench软件对夹具进行了的静力学分析,求解出夹具的应力应变云图;根据夹具的频率方程,得出夹具前20阶自由模态固有频率,将求解结果与其工作频率进行对比分析;通过选择合适的设计变量,对夹具进行轻量化设计,获取夹具的最优结构尺寸.由于夹具在不同工况下所受的载荷不一样,所以结合VB和ANSYS软件设计了夹具工况分析系统,用于夹具的快速分析和优化,可有效提高夹具的设计效率.

关键词

硅棒/夹具/工况分析系统

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基金项目

国家大学生创新训练计划基金资助项目(2012049704010)

出版年

2020
机械设计与制造
辽宁省机械研究院

机械设计与制造

CSTPCD北大核心
影响因子:0.511
ISSN:1001-3997
被引量1
参考文献量6
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