机械设计与制造2020，Issue(10) ：86-88,93.

Co-Re化学气相沉积一体化系统的研究

Study on the Integrated System of Co-Re Chemical Vapor Deposition

朱黎明 龚伟 敬瑀 杨康宁
机械设计与制造2020，Issue(10) ：86-88,93.
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Co-Re化学气相沉积一体化系统的研究

Study on the Integrated System of Co-Re Chemical Vapor Deposition

朱黎明 1龚伟 1敬瑀 1杨康宁1
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作者信息

  • 1. 西南科技大学制造科学与工程学院,西南科技大学材料科学与工程学院,四川绵阳621000
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摘要

设计了Co-Re化学气相沉积一体化系统,采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2榆运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层.Co-Re化学气相沉积一体化系统包括机械系统和控制系统.介绍了系统的原理和构成,着重介绍了一体化系统的五个温控系统设计以及各个控制元件的连接和操作.经过初步的测试表明:能够给Co-Re涂层的形成提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,此系统能够用于Co-Re合金涂层的制备与研究.

关键词

化学气相沉积/一体化/Co-Re合金涂层/控制系统

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基金项目

四川省科技计划应用基础研究重点项目(2017JY0084)

出版年

2020
机械设计与制造
辽宁省机械研究院

机械设计与制造

CSTPCD北大核心
影响因子：0.511
ISSN：1001-3997
参考文献量4
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