孔全存、温杰超、牛献礼、田元波
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,北京100192
北京信息科技大学精密测量技术与仪器研究所,北京100192
微细电解加工 侧壁绝缘 双极性电泳 中空电极 高深宽比 微小孔
国家自然科学基金面上项目北京市自然科学基金
516750543172013
2022